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发明名称 JIG FOR INSTALLING CLAMP RING OF CHEMICAL VAPOR DEPOSITION
摘要
申请公布号 KR200187938(Y1) 申请公布日期 2000.07.15
申请号 KR20000003991U 申请日期 2000.02.15
申请人 ANAM SEMICONDUCTOR.,LTD. 发明人 LEE, DONG KEUN
分类号 H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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