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发明名称 CLEANING APPARATUS USING HF VAPOR GAS
摘要
申请公布号 KR200189495(Y1) 申请公布日期 2000.07.15
申请号 KR19990030813U 申请日期 1999.12.31
申请人 ANAM SEMICONDUCTOR.,LTD. 发明人 SONG, HOON
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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