| 发明名称 |
PLASMABEARBEITUNGSSYSTEM MIT REDUZIERTERPARTIKELN KONTAMINIERUNG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69605670(T2) |
申请公布日期 |
2000.07.13 |
| 申请号 |
DE19966005670T |
申请日期 |
1996.05.06 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD., TOKIO/TOKYO |
发明人 |
LANTSMAN, ALEXANDER |
| 分类号 |
H05H1/46;C23C14/54;C23C16/44;H01J37/32;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/302;(IPC1-7):H01J37/32 |
主分类号 |
H05H1/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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