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发明名称 Verfahren zum Reinigen von halbleitenden Elementen oder von gasförmigen Halogenverbindungen halbleitender Elemente
摘要
申请公布号 CH358784(A) 申请公布日期 1961.12.15
申请号 CHD358784 申请日期 1956.08.06
申请人 SIEMENS & HALSKE AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 WAGNER,GUSTAV,PROF.DR.;ZIEGLER,GUENTHER,DIPL.-PHYS.DR.
分类号 C01B21/068;C01B33/03;C01B33/037;C01B33/08;H01L21/00 主分类号 C01B21/068
代理机构 代理人
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