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经营范围
发明名称
ION BEAM SHIELD FOR IMPLANTATION SYSTEMS
摘要
申请公布号
EP0880794(B1)
申请公布日期
2000.07.12
申请号
EP19970906634
申请日期
1997.02.14
申请人
EATON CORPORATION
发明人
BLAKE, JULIAN, G.
分类号
H01J37/304;H01J37/317;H01L21/00;H01L21/677;H01L21/683;H01J27/14;H01J37/08;H01J37/18;H01J37/30;(IPC1-7):H01J37/317
主分类号
H01J37/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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