发明名称 ION BEAM SHIELD FOR IMPLANTATION SYSTEMS
摘要
申请公布号 EP0880794(B1) 申请公布日期 2000.07.12
申请号 EP19970906634 申请日期 1997.02.14
申请人 EATON CORPORATION 发明人 BLAKE, JULIAN, G.
分类号 H01J37/304;H01J37/317;H01L21/00;H01L21/677;H01L21/683;H01J27/14;H01J37/08;H01J37/18;H01J37/30;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 H01J37/304
代理机构 代理人
主权项
地址