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发明名称 Process for producing a silicon wafer
摘要
申请公布号 EP0773310(B1) 申请公布日期 2000.07.12
申请号 EP19960114365 申请日期 1996.09.07
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 GOEBEL, HERBERT, DR. DR. RER.NAT.;GOEBEL, VESNA
分类号 C30B31/02;H01L21/22;H01L21/225;(IPC1-7):C30B31/02;C30B31/16 主分类号 C30B31/02
代理机构 代理人
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