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发明名称
摘要
申请公布号 JP3063834(B2) 申请公布日期 2000.07.12
申请号 JP19970250400 申请日期 1997.09.16
申请人 发明人
分类号 H01L21/76;H01L21/265;H01L27/08;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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