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发明名称 Arf laser with low pulse energy and high rep rate
摘要
申请公布号 AU2959000(A) 申请公布日期 2000.07.12
申请号 AU20000029590 申请日期 1999.12.13
申请人 CYMER, INC. 发明人 HERVE A. BESAUCELE;JEAN-MARC HUEBER;ALEXANDER I. ERSHOV;THOMAS HOFFMAN;VLADIMIR B. FLEUROV
分类号 G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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