发明名称 External high voltage control for a laser system
摘要
申请公布号 EP0790681(B1) 申请公布日期 2000.07.12
申请号 EP19970300340 申请日期 1997.01.20
申请人 CYMER, INC. 发明人 DAS, PALASH P.;PAYNE, JAMES D.;MIXON, CURTISS L.;EIS, RICHARD A.
分类号 H01S3/097;H01S3/134;H01S3/225;(IPC1-7):H01S3/097 主分类号 H01S3/097
代理机构 代理人
主权项
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