发明名称 处理废气之装置
摘要 一种用以有效地处理在制造半导体之制程中释出之废气的装置,本发明之一实施例的处理废气之装置包含一废气加热室、一废气收集室、一废气收集室壳体、该废气收集室壳体的一刮除装置、该废气收集室的一刮除装置、以及用以驱动该废气收集室壳体之刮除装置与该废气收集室之刮除装置本发明一动力源。该处理废气之装置还包括设置在该废气收集室之外表面上用以冷却废气的一冷却管。
申请公布号 TW397715 申请公布日期 2000.07.11
申请号 TW086114151 申请日期 1997.09.27
申请人 优尼森股份有限公司 发明人 朴荣培;金亨烈
分类号 B08B15/00;B08B9/04 主分类号 B08B15/00
代理机构 代理人 恽轶群 台北巿南京东路三段二四八号七楼;康伟言 台北巿南京东路三段二四八号七楼
主权项 1.一种处理废气的装置,其包含: 一废气加热室,用以加热与空气混合之废气以便 分离一固相的反应产物以及一气相净化气体; 一废气收集室,其系与该废气加热室连接,用以 藉由冷疑与冷却来收集该等被加热与反应产物以 及该 净化气体; 一收集室之壳体,其系与该废气收集室相隔一预 定距离并且紧邻该废气收集室,用以收集与传送在 该 废气收集室中之剩余的反应产物与净化气体; 一第一刮除装置,用以移除黏着于废气收集室之 壳体之一内表面上的副产物; 一第二刮除装置,用以移除黏着于废气收集室之 一内表面上的副产物;以及 一动力源,用以驱动该第一刮除装置与该第二刮 除装置。2.如申请专利范围第1项之处理废气之装 置,其中该 废气收集室包括一第一圆柱形本体、形成在该第 一 本体之一端处并且与该废气加热室结合的一室凸 缘、具有漏斗形状且与该第一本体连接的一第二 本 体、以及与该第二本体连接且具有一螺纹形成于 其 上的一圆柱形螺纹部份。3.如申请专利范围第2项 之处理废气之装置,其中该 废气收集室之壳体包括具有一气体释出管形成于 其 上并且具有一窗形成在其一预定位置处的一圆柱 形 壳体本体、形成在该壳体本体之一端处且与该室 凸 缘结合的一壳体凸缘、具有漏斗形状且与该壳体 本 体之另一端连接的一下方收集器以及形成在该下 方 收集器之中央的一释出管。4.如申请专利范围第3 项之处理废气之装置,其中一 冷却管系安装在该废气收集室之一外表面上。5. 如申请专利范围第1项之处理废气之装置,其中该 刮除装置包括在其一端处与该动力源结合之该废 气 收集室用的一动力传送部份、以及与该废气收集 室 壳体用之动力传送部份结合在其一端处之废气收 集 室壳体用的一刮除器。6.如申请专利范围第4项之 处理废气之装置,其中该 动力传送部份包括在其一端处与该废气收集室结 合 并且在其另一端处具有一连接凸起的一第一支持 本 体、以及可旋转地连接于该第一支持本体之一周 缘 表面,用以支持该收集室壳体之刮除器之该废气收 集室壳体的一被驱动齿轮。7.如申请专利范围第6 项之处理废气之装置,其中该 废气收集室壳体的被驱动齿轮包括一正齿轮。8. 如申请专利范围第1项之处理废气之装置,其中该 废气收集室之刮除装置包括与该废气收集室壳体 之 动力传送部份连接且与该动力源齿合的一动力传 送 部份、以及与该废气收集室之动力传送部份连接 之 该废气收集室的一刮除器。9.如申请专利范围第8 项之处理废气之装置,其中该 动力传送装置包括具有凸出在位于一中间部份处 之 一周缘表面四周上之一齿轮支持部份并且与该废 气 收集室壳体之动力传送部份之一第一支持本体藉 由 一螺栓可旋转地结合在其一端处的一可旋转本体 、 固定在该可旋转本体之一内表面上并且具有延伸 在 该可旋转本体中之多数支持杆的一轴杆支持构件 、 在其一端处与该第一支持本体连接且具有一长螺 帽 内侧以便容纳该可旋转本体的一第二支持本体、 被 该轴杆支持构件之杆支持所固定且与该废气收集 室 之刮除器固定于其上的一轴杆、以及固定于该可 旋 转本体之齿轮支持构件之一表面上并且与该动力 源 齿合之废气收集室的一被驱动齿轮。10.如申请专 利范围第9项之处理废气之装置,其中该 动力源包括与该废气收集室之被驱动齿轮以及该 废 气收集室壳体之被驱动齿轮分别齿合的驱动齿轮 、 用以将一旋转力传送到该等驱动齿轮的一驱动齿 轮 轴杆、用以产生该旋转力的一电动马达、以及用 以 将该旋转由该电动马达传送到该驱动齿轮轴杆的 一 对斜齿轮。11.如申请专利范围第10项之处理废气 之装置,其中该 等驱动齿轮分别包括一正齿轮。12.如申请专利范 围第9项之处理废气之装置,还包含 设置在该轴杆之一端处之一内管用的一刮除器,用 以移除黏着于该废气加热室之内管之一表面上的 副 产物。13.如申请专利范围第12项之处理废气之装 置,其中该 内管用的刮除器具有一螺旋的形状。14.如申请专 利范围第12项之处理废气之装置,还包含 设置在该轴杆之另一端处之一下方收集器用的一 刮 除器,用以移除黏着于该废气收集室壳体之下方收 集器之一底面上的副产物。 第一图是习知技术之一实施例一湿式处理废气之 装置 的立体图,其系部份地被切除; 第二图是习知技术之另一实施例之一乾式处理废 气之 装置的立体图; 第三图是本发明之一实施例之处理废气之装置的 一截 面图; 第四图是本发明之实施例之处理废气之装置的一 分解 立体图;以及 第五图是本发明之实施例之处理废气之装置中一 废气 收集室与一刮除装置的一部份切除立体图。
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