| 发明名称 |
Teilchenanalyse von gekerbten Scheiben |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69422351(T2) |
申请公布日期 |
2000.07.06 |
| 申请号 |
DE19946022351T |
申请日期 |
1994.07.08 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
URITSKY, YURI S.;LEE, HARRY Q. |
| 分类号 |
G01N15/00;G01N15/10;H01J37/256;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01N15/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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