发明名称 Verfahren und Vorrichtung zum Testen von auf einem Halbleiterchip integrierten Kondensatoren
摘要
申请公布号 DE19843469(C2) 申请公布日期 2000.07.06
申请号 DE19981043469 申请日期 1998.09.22
申请人 SIEMENS AG 发明人 LEINEWEBER, HUBERT;SMOLA, MICHAEL;OTTERSTEDT, JAN
分类号 G01R31/27;(IPC1-7):H01L21/66;G01R31/28 主分类号 G01R31/27
代理机构 代理人
主权项
地址