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经营范围
发明名称
Verfahren und Vorrichtung zum Testen von auf einem Halbleiterchip integrierten Kondensatoren
摘要
申请公布号
DE19843469(C2)
申请公布日期
2000.07.06
申请号
DE19981043469
申请日期
1998.09.22
申请人
SIEMENS AG
发明人
LEINEWEBER, HUBERT;SMOLA, MICHAEL;OTTERSTEDT, JAN
分类号
G01R31/27;(IPC1-7):H01L21/66;G01R31/28
主分类号
G01R31/27
代理机构
代理人
主权项
地址
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