Vorrichtung und Verfahren zur Objektuntersuchung

摘要

Ein Mess-System dient insbesondere der Erfassung von Fehlstellen an Prüfobjekten. Das Messobjekt wird dazu aus einer Beleuchtungseinheit, die mehrere Laserdioden enthält, gleichmäßig ausgeleuchtet. Die Strahlkegel der einzelnen Laser überlappen sich stark, was eine homogene Beleuchtung auch bei großen Aufnahmewinkeln und sich ändernden Abbildungsverhältnissen durch unterschiedliche Objektgrößen und Abstände erbringt. Das Messobjekt wird interferometrisch beobachtet. Aus einzelnen Bildern werden Phasendifferenzbilder ermittelt. Diese werden 2PI/n-moduliert, wodurch insbesondere im Bereich von Fehlstellen Phasensprünge entstehen, die besonders gute Kontraste ergeben.