| 摘要 |
<p>La présente invention concerne des systèmes et des méthodes de distribution de produits chimiques liquides. Dans une forme de réalisation, on décrit des systèmes présentant des blocs (200) de cellules de chargement multi-réservoirs destinés à la distribution de produits chimiques utilisés dans l'industrie des semi-conducteurs. Dans une autre forme de réalisation, on décrit un bloc (200) de cellules de chargement multi-réservoir qui inclut un régulateur (330), un réservoir (208) tampon, un réservoir (206) principal, une ou plusieurs cellules (412) de chargement couplées au bloc et au régulateur et utilisables pour mesurer le liquide dans le(s) réservoir(s), plusieurs tuyaux (306, 308) d'alimentation comportant chacun une soupape (V1, V2) et raccordant un des récipients (100, 102) d'alimentation au réservoir principal, et des sources de gaz (318) et de dépression (324) pour extraire le liquide du bloc sur commande du régulateur, ou remplir le bloc à partir des récipients d'alimentation.</p> |
