发明名称 Verfahren zur Herstellung von Trichlorsilan aus Siliciumtetrachlorid
摘要
申请公布号 DE4104422(C2) 申请公布日期 2000.07.06
申请号 DE19914104422 申请日期 1991.02.14
申请人 DEGUSSA-HUELS AG 发明人 BRUMME, JOHANNES;TEICHMANN, ROLF;KRAEMER, HANS;MEIER, GUENTER;KOEHLER, BERND
分类号 C01B33/107;(IPC1-7):C01B33/107 主分类号 C01B33/107
代理机构 代理人
主权项
地址