| 发明名称 |
Verfahren und Einrichtung zur Beschichtung optischer Substrate durch Zerstäubung |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE59508419(D1) |
申请公布日期 |
2000.07.06 |
| 申请号 |
DE19955008419 |
申请日期 |
1995.11.14 |
| 申请人 |
SATIS VACUUM INDUSTRIES AG, KUESNACHT |
发明人 |
SUTER, RUDOLF |
| 分类号 |
C23C14/34;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/34 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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