| 发明名称 |
Method for the production of a microstructured SiO2/TiO2 layer system |
| 摘要 |
<p>Beschrieben wird ein Verfahren zur Herstellung eines mikrostrukturierten Schichtsystems, umfassend ein Substrat und eine oder mehrere Schichten aus TiO2/SiO2. Ein nach diesem Verfahren hergestelltes mikrostrukturiertes Schichtsystem kann als diffraktives Gitter, Antireflexschicht oder Biosensor verwendet werden.</p> |
| 申请公布号 |
EP1016637(A2) |
申请公布日期 |
2000.07.05 |
| 申请号 |
EP19990122037 |
申请日期 |
1999.11.15 |
| 申请人 |
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. |
发明人 |
LOEBMANN, PEER, DR. DIPL.-CHEM. |
| 分类号 |
C03B19/12;C03C17/00;C03C17/02;C03C17/25;C03C17/34;(IPC1-7):C03C17/25;C04B41/89;C04B41/85;C23C18/12 |
主分类号 |
C03B19/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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