梯度折射率光纤球面波干涉仪

摘要

本实用新型梯度折射率光纤球面波干涉仪涉及干涉计量应用及物体表面形态、振动的测量技术。所述干涉仪包括激光器、半反分束镜、观察屏、摄象机及数据处理机,光路部件设置在一三维工作平台上,半反分束镜透射光路上有一根梯度折射率光纤,其一端由三维调整架夹持,另一端伸出工作台外,三维调整架夹持中心线与激光束轴线重合。在半反分束镜与观察屏间的光路上能增设有第二个半反分束镜,该镜反射光路上设有光电探测器,其输出信号线与数据处理机连接。它能对微区进行面形和振动测量。

主权项

1.一种梯度折射率光纤球面波干涉仪，包括现有技术中的激光器、半反分束镜、观察屏、摄象机及与之相连接的数据处理机，其中光路部件均设置在一个能实现三维运动的工作平台上，所述半反射分束镜镜面的法线方向与激光束轴线成45°夹角，半反分束镜的干涉反射光束射到观察屏上，其特征在于，在半反分束镜的透射光光路上设置有一根梯度折射率光纤，该光纤的一端由三维调整架夹持，它的另一端伸出工作台外，所述三维调整架夹持中心线与透射光束轴线重合。