| 发明名称 |
Liquid delivery system for chemical vapour deposition method |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2345298(A) |
申请公布日期 |
2000.07.05 |
| 申请号 |
GB19990025485 |
申请日期 |
1999.10.28 |
| 申请人 |
* HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO., LTD. |
发明人 |
SUNG GYU * PYO |
| 分类号 |
C23C16/18;C23C16/448;(IPC1-7):C23C16/44 |
主分类号 |
C23C16/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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