锯切数字微镜器件后的似大圆片加工

摘要

本发明涉及一种制造诸如数字微镜器件一类，微机械器件的加工固定件的方法，它能保护大圆片２２上脆弱的结构在锯切操作和其后清洗操作期间免受碎屑的影响。在局部锯切大圆片２２以产生锯槽之后，把大圆片２２紧贴于真空固定件２６上。然后将大圆片２２的背面研磨减薄至锯槽２４来分离器件３２。每个器件３２借助其上方端部空间内的真空紧贴于固定件上。在另一实施例中，器件通过把还在固定件上的大圆片完全锯开加以分离。

主权项

1.一种在大圆片加工期间至少保护一个位于大圆片上的微机械器件的固定件，其特征在于，所述固定件包含：至少一个端部空间以防止所述固定件与所述圆片上所述器件部分之间的接触；至少一个真空端口，与所述端部空间相连通，以允许把所述端部空间抽成真空；以及一机械加工表面，限定所述的至少一个端部空间，以允许所述固定件与所述大圆片形成密封。