用于制备石英玻璃的氯化锗和硅氧烷原料和方法

摘要

本发明揭示一种可拉制成光纤的光波导预制棒和光波导的制造方法。也揭示了包括硅氧烷和氯化锗混合物的形成石英的原料和光波导预制棒的制造装置。其它的揭示包括淀积前的混合以及使用高纯度的硅氧烷和高纯度的氯化锗制备掺锗的石英。用于将原料输送到淀积部位的管道可加热至175—200℃。

主权项

1.一种制造光波导预制棒的方法，其特征在于该方法包括如下步骤：(a)按1-10重量份高纯度硅氧烷对1重量份高纯度氯化锗的比例将所述的硅氧烷与所述的氯化锗混合成流体原料；(b)通过温度约为175-200℃的加热供应管道将所述的流体原料输送到转化部位；(c)将输送来的所述流体原料转化成掺锗的石英烟尘；(d)将所述的掺锗石英淀积在淀积表面上；和(e)将所述淀积的掺锗石英制成光波导预制棒。