| 发明名称 |
CONTROLLING THREADING DISLOCATION DENSITIES USING GRADED LAYERS AND PLANARIZATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1016129(A1) |
申请公布日期 |
2000.07.05 |
| 申请号 |
EP19980931529 |
申请日期 |
1998.06.23 |
| 申请人 |
MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY |
发明人 |
FITZGERALD, EUGENE, A. |
| 分类号 |
H01L21/20;(IPC1-7):H01L21/20 |
主分类号 |
H01L21/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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