| 发明名称 | 用于光致抗蚀剂的交联单体,及使用其制备光致抗蚀剂聚合物的方法 | ||
| 摘要 | 本发明揭示一种化学式1的交联单体,使用该单体制备光致抗蚀剂聚合物的方法,及该光致抗蚀剂聚合物。 | ||
| 申请公布号 | CN1258670A | 申请公布日期 | 2000.07.05 |
| 申请号 | CN99126687.0 | 申请日期 | 1999.12.24 |
| 申请人 | 现代电子产业株式会社 | 发明人 | 郑载昌;郑旼镐;白基镐;孔根圭;李根守 |
| 分类号 | C07C57/145;C08F222/06;G03F7/00 | 主分类号 | C07C57/145 |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 丁业平;王维玉 |
| 主权项 | 1.一种用于光致抗蚀剂聚合物的化学式1的交联单体，<化学式1><img file="A9912668700021.GIF" wi="239" he="627" />其中R′和R″分别为氢或甲基；m是一从1至10的数；及R是选自直链或支链的C<sub>1</sub>-C<sub>10</sub>烷基，直链或支链的C<sub>1</sub>-C<sub>10</sub>酯，直链或支链的C<sub>1</sub>-C<sub>10</sub>酮，直链或支链的C<sub>1</sub>-C<sub>10</sub>羧酸，直链或支链的C<sub>1</sub>-C<sub>10</sub>缩醛，直链或支链的含有至少一个羟基的C<sub>1</sub>-C<sub>10</sub>烷基，直链或支链的含有至少一个羟基的C<sub>1</sub>-C<sub>10</sub>酯，直链或支链的含有至少一个羟基的C<sub>1</sub>-C<sub>10</sub>酮，直链或支链的含有至少一个羟基的C<sub>1</sub>-C<sub>10</sub>羧酸，及直链或支链的含有至少一个羟基的C<sub>1</sub>-C<sub>10</sub>缩醛。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||