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发明名称
摘要
申请公布号 JP3057808(B2) 申请公布日期 2000.07.04
申请号 JP19910130445 申请日期 1991.05.02
申请人 发明人
分类号 C23C14/48;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
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