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发明名称
摘要
申请公布号	JP3059906(B2)	申请公布日期	2000.07.04
申请号	JP19950014301	申请日期	1995.01.31
申请人		发明人
分类号	H01L21/822;H01L27/04;H01L29/866;(IPC1-7):H01L27/04	主分类号	H01L21/822
代理机构		代理人
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