发明名称
摘要
申请公布号 JP3059794(B2) 申请公布日期 2000.07.04
申请号 JP19910240540 申请日期 1991.08.26
申请人 发明人
分类号 H01L39/22;B24B1/04;H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/24 主分类号 H01L39/22
代理机构 代理人
主权项
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