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发明名称
摘要
申请公布号	JP2000508381(A)	申请公布日期	2000.07.04
申请号	JP19970536751	申请日期	1997.04.14
申请人		发明人
分类号	C23C14/34;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/34	主分类号	C23C14/34
代理机构		代理人
主权项
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