Method of determining the structure of polycristaline solid samples

摘要

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Gefügeanalyse an polykristallinen Festkörperproben unter Anwendung der Kikuchi-Technik zu schaffen, mit dem gegenüber dem Stand der Technik die Erzeugung eines Gefügebildes wesentlich schneller und exakter mit Hilfe der üblichen rasterelektronenmikroskopischen Abbildungsverfahren mittels Sekundär- bzw. Rückstreuelektronen möglich ist. Diese Aufgabe wird nach der Erfindung mit einem Verfahren gelöst, bei dem man a) in einem Rasterelektronenmikroskop (REM) von der Oberfläche der Festkörperprobe in an sich bekannter Weise ein Gefügebild mit hoher Abbildungstreue beziehungsweise Auflösung aufnimmt, b) aus dem Gefügebild bildanalytisch die geometrischen Schwerpunkte der Körnerschnittflächen ermittelt und von diesen die zugehörigen Vektoren beziehungsweise Kordinaten im Gefügebild bestimmt und zur Bildung eines Datensatzes heranzieht, c) den erhaltenen Datensatz zur punktweisen Steuerung der Position des Primärstrahls des REM auf der Oberfläche der Festkörperprobe verwendet und d) an diesen Positionen mit Hilfe der Kikuchi-Technik die Orientierung der Körner an der Oberfläche der Festkörperprobe ermittelt. <IMAGE>