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发明名称 INFLATABLE ELASTOMERIC ELEMENT FOR RAPID THERMAL PROCESSING (RTP) SYSTEM
摘要
申请公布号 EP1012358(A1) 申请公布日期 2000.06.28
申请号 EP19980940202 申请日期 1998.07.10
申请人 STEAG RTP SYSTEMS GMBH 发明人 ASCHNER, HELMUT;MERKLE, HELMUT;WALK, ULRICH;ZERNICKEL, DIETER
分类号 H01L21/26;C23C16/44;C30B25/08;C30B31/10;C30B35/00;F27B5/10;F27D7/06;H01L21/00;(IPC1-7):C30B31/10;F27D23/00 主分类号 H01L21/26
代理机构 代理人
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