发明名称 曝光装置
摘要 在彩色阴极射线管的面板(2)的内侧面使荧光屏曝光的曝光装置上,用于晒像的光线(19)从光源部(18)发出,经光学补偿系统的构件(30)射入使光线轨迹近似于电子束轨迹的投射透镜系统(20),再经过荫罩的开孔射入支承台(17)上的面板(2)内侧的感光层(26)。光学补偿构件(30)具有相对于入射面倾斜的光出射面,并由驱动部驱动,以从光源部向感光层发射的光线的光轴(28)为中心旋转,从而光源部(18)的像旋转移动,在感光层上形成接近正圆的荫罩开孔的图形。
申请公布号 CN1053991C 申请公布日期 2000.06.28
申请号 CN95103981.4 申请日期 1995.03.31
申请人 东芝株式会社 发明人 冈田忠典;桑原雄二
分类号 H01J9/227 主分类号 H01J9/227
代理机构 上海专利商标事务所 代理人 沈昭坤
主权项 1.一种使装在阴极射线管面板(2)内侧的荫罩(1)的开孔(10)所对应的图形曝光于面板(2)内侧面上所涂的感光层(26)形成荧光屏的曝光装置,包括:支持阴极射线管面板(2)的装置;以及发射光线(19)以晒像得出与面板(2)内侧面的感光层(26)相向配置的荫罩(1)的开孔(10)所对应的图形的光源部(18),其特征在于,还包括:包含配置于该光源部(18)与荫罩(1)之间的光学补偿构件的光学系统,该光学补偿构件的光线入射平面(30A)与光轴(28)垂直,其光线出射平面(30B)相对于入射平面(30A)倾斜配置,由所述光源部(18)向感光层(26)射出的光线(19)通过该光学补偿构件(30),从入射平面(30A)上的不同入射位置入射的光线以不同的光程通过光学补偿构件(30)从出射平面(30B)射出;以及使该光学补偿构件(30)以从上述光源部(18)向感光层(26)射出的光线(19)的光轴(28)为中心轴旋转的驱动部,光学补偿构件(30)的光线出射平面(30B)是相对于入射平面(30A)具有设定的倾斜角的平面,该倾斜角设定得使感光层(26)上晒像所得的与荫罩(1)的开孔(10)对应的图形接近正圆形。
地址 日本神奈川县