| 发明名称 | 光学投影系统中的薄膜驱动的反射镜组及其制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种光学投影系统中的薄膜式AMA及其制造方法。该薄膜式AMA具有一个带有电气线路和一个连接终端的基片,一个致动器和一个反射件(160)。该致动器具有一个支承层(120),一个底部电极(125),一个有源层(130)和一个顶部电极(140)。该支承层(120)的第一部分与该底部电极的下面相连,而其第二部分露出在该底部电极之外。该反射件(160)是在该支承层(120)的第二部分上形成的。该支承层(120)与该致动器一起倾斜。这样,该薄膜式AMA通过最大限度地减小该致动器的面积,和最大限度地增大该反射件(160)的面积,可使被该反射件(160)反射的光的光效率大大提高,因此,可使投影至屏幕上的图像质量大大提高。 | ||
| 申请公布号 | CN1258414A | 申请公布日期 | 2000.06.28 |
| 申请号 | CN97182066.X | 申请日期 | 1997.01.23 |
| 申请人 | 大宇电子株式会社 | 发明人 | 崔允准 |
| 分类号 | H04N9/31;G02B26/08 | 主分类号 | H04N9/31 |
| 代理机构 | 柳沈知识产权律师事务所 | 代理人 | 陶凤波 |
| 主权项 | 1.一种光学投影系统中的薄膜驱动的反射镜组，其由第一个信号和第二个信号驱动，所述光学投影系统中的薄膜驱动的反射镜组包括：一个具有电气线路和一个连接终端的基片，用于从外界接收该第一个信号，并传送该第一个信号；一个致动器；该致动器具有一个接收该第一个信号的底部电极；一个与所述第一个底部电极相应的顶部电极，用于接收该第二个信号，并且在所述的第一个顶部电极和所述的第一个底部电极之间产生一个电场；一个在所述的第一个顶部电极和所述的第一个底部电极之间形成，并且由该电场使它产生变形的第一个有源层；和一个支承层，其第一部分与所述底部电极的下面相连，而其第二部分露出在所述底部电极之外；和一个用于反射光线的反射装置；所述反射装置在所述支承层的第二部分上形成。 | ||
| 地址 | 韩国汉城 | ||