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发明名称 DEVICE AND PROCESS FOR TREATING SUBSTRATES IN A FLUID CONTAINER
摘要
申请公布号 EP1012874(A1) 申请公布日期 2000.06.28
申请号 EP19970915438 申请日期 1997.03.26
申请人 STEAG MICROTECH GMBH 发明人 SCHOENLEBER, DIETMAR
分类号 H01L21/673;H01L21/00;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/673
代理机构 代理人
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