发明名称 METHOD FOR SHARPENING EMITTER SITES USING LOW TEMPERATURE OXIDATION PROCESSES
摘要
申请公布号 EP0789931(B1) 申请公布日期 2000.06.28
申请号 EP19950939755 申请日期 1995.11.02
申请人 MICRON TECHNOLOGY, INC. 发明人 CATHEY, DAVID, A., JR.
分类号 H01J9/02;(IPC1-7):H01J9/02 主分类号 H01J9/02
代理机构 代理人
主权项
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