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发明名称
摘要
申请公布号 JP3055610(B2) 申请公布日期 2000.06.26
申请号 JP19970194243 申请日期 1997.07.18
申请人 发明人
分类号 H01L29/762;H01L21/339;H01L29/423;H01L29/768;(IPC1-7):H01L29/762 主分类号 H01L29/762
代理机构 代理人
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