| 摘要 |
<p>Zur Erfassung von Merkmalen der Raumstruktur eines elektrisch leitenden Kristalls (1), insbesondere eines Halbleiters, wird dem Kristall ein Messstrom zugeführt und an einer vom Stromeingang (4) verschiedenen Stelle (3) des Kristalls eine Messung der Ladungsverteilung durchgeführt. Aus der Beziehung zwischen der gemessenen Ladungsverteilung und einer Standardverteilung werden Informationen über die Raumstrukturmerkmale gewonnen. Dabei kann zur Erzeugung einer definierten zeitlichen Veränderung der Raumstruktur der Kristall einer akustischen Schwingung, insbesondere dem Einfluss von Ultraschallwellen (24), ausgesetzt werden, die gemessen wird. Eine hierfür geeignete Vorrichtung besteht aus einer elektrisch leitenden Kristallstruktur (1) mit Quellenelektroden (4) zur Einleitung eines Stroms in den Kristall, Senkenelektroden (3) zur Entnahme eines Stroms aus dem Kristall und elektronischen Auswertungsschaltungen (20) zur Gewinnung von Informationen über die Raumstruktur des Kristalls aus dem gemessenen Strom.</p> |
