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发明名称 EPITAXIAL CORIOLIS RATE SENSOR
摘要 <p>An apparatus for measuring the specific force and angular rotation rate of a moving body having multiple micromachined force-rebalance accelerometers formed in a layer of epitaxial material.</p>
申请公布号 WO2000036374(A1) 申请公布日期 2000.06.22
申请号 US1999029235 申请日期 1999.12.07
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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