| 摘要 |
<p>Es soll eine mikroelektronische Struktur geschaffen werden, die eine Oxidation von sauerstoffempfindlichen Strukturen (25) verhindert. Dazu weist die mikroelektronische Struktur eine leitfähige Schicht (10) aus einer Platin-Iridium-Legierung auf. Das Iridium soll bei einer Behandlung der mikroelektronischen Struktur in einer sauerstoffhaltigen Atmosphäre die Sauerstoffdiffusion durch die leitfähige Schicht (10) durch Bindung des Sauerstoffs behindern und somit die oxidationsempfindliche Strukturen (25) unterhalb der leitfähigen Schicht (10) schützen.</p> |
