废气洗涤塔结构

摘要

一种废气洗涤塔结构，系包括有一配备有多个洒水元件之洗涤单元、以迳行有效之废气、空气、与水雾混和，一设于洗涤单元之侧、用以将洗涤单元中之混和空气强迫导出废气洗涤塔之出气单元，及一位于洗涤单元与出气单元下方、以一储水处承装由洗涤单元所落下之水、用以再循环至洗涤单元运用、并配备有多个帮浦分别进行洒水供水与排水作业之承水单元;其中，多洒水元件之运用，可有效增进洗涤单元内之气水混和;多洒水帮浦之运用，则可达成分别独立操作与交互支援作业之操作，可有效解决知技艺于帮浦维修时所产生之洗涤塔停机问题，而独立之排水帮浦运用，则可有效解决洒水帮浦与洒水元件阻塞之问题。

主权项

1.一种废气洗涤塔结构,系包括有:一洗涤单元,系为该废气洗涤塔塔体中之一用以迳行有效之废气、空气、与水雾混和之隔间,乃经由一废气入口导入废气、经由一高于该废气入口之空气入口导入空气,其又包括有:一第一洒水元件,系于该隔间内、横亘设于该废气入口之上方,乃用以洒水于该隔间内;一第二洒水元件,系于该隔间内、横亘设于该废气入口与该第一洒水元件之上方,亦用以供水至该隔间内;及一滤水装置,系横阻设于该隔间之下方、用以作为该隔间之空气与水之出口,乃可滞留凝水快速落下、延长空气与水之混和时间;一出气单元,系位于该洗涤单元隔间之侧,其具有一负压之吸气口,乃藉由该吸气口之负压产生导引空气流、将该洗涤单元中之混和空气强迫通过该滤水装置,再经由该吸气口将空气抽出该废气洗涤塔;以及一承水单元,系位于该洗涤单元与该出气单元之下方,乃以其一储水处承装由该洗涤单元所落下之水、并用以再循环至该洗涤单元运用,其又包括有:一排水帮浦,系管接至该承水单元之该储水处,用以控制该承水单元之排水操作;一第一帮浦,系管接至该承水单元之该储水处,用以将该储水处中之水循环抽取至该第一洒水元件;及一第二帮浦,系管接至该承水单元之该储水处,用以将该储水处中之水循环抽取至该第二洒水元件。2.如申请专利范围第1项所述之废气洗涤塔结构,其中所述之该洗涤单元又包括有一匀水装置。3.如申请专利范围第2项所述之废气洗涤塔结构,其中所述之该匀水装置系为一具多数个漏孔之板体。4.如申请专利范围第2项所述之废气洗涤塔结构,其中所述之该匀水装置系为一网体。5.如申请专利范围第2项所述之废气洗涤塔结构,其中所述之该匀水装置系为一具多数个漏孔之板体,其上并覆盖有一含水层。6.如申请专利范围第2项所述之废气洗涤塔结构,其中所述之该匀水装置系为一网体,其上并覆盖有一含水层。7.如申请专利范围第1项所述之废气洗涤塔结构,其中所述之该第一洒水元件与该第二洒水元件于接近该第一帮浦与该第二帮浦间、又设有连通二管路之交流管,该交流管上又设有一交流管阀、以控制该交流管之通路。8.如申请专利范围第7项所述之废气洗涤塔结构,其中所述之该第一洒水元件与该第一帮浦间、低于该交流管处,又设有一第二管阀。9.如申请专利范围第7项所述之废气洗涤塔结构,其中所述之该第二洒水元件与该第二帮浦间、低于该交流管处,又设有一第四管阀。10.如申请专利范围第1项所述之废气洗涤塔结构,其中所述之该排水帮浦管接至该承水单元处,系位于该第一帮浦管接至该承水单元与该第二帮浦管接至该承水单元处之下方。11.一种废气洗涤塔结构,系用于半导体制造工厂中之废气排除之先前处理,该废气系导经过该废气洗涤塔,该废气洗涤塔又包括有:一第一洒水元件,系提供多角度之洒水,以混和该废气洗涤塔中之该废气;一第二洒水元件,系用以进行垂直式洒水,亦用以供水混和该废气洗涤塔中之该废气;及一帮浦组,用以支持该第一洒水元件与该第二洒水元件之供水。12.如申请专利范围第11项所述之废气洗涤塔结构,其中又包括一匀水装置,以有效将该第二洒水元件所提供之水作全面均匀之分布,以减低洒水之死角。13.如申请专利范围第12项所述之废气洗涤塔结构,其中所述之该匀水装置系为一具多数个漏孔之板体。14.如申请专利范围第12项所述之废气洗涤塔结构,其中所述之该匀水装置系为一网体。15.如申请专利范围第12项所述之废气洗涤塔结构,其中所述之该匀水装置系为一具多数个漏孔之板体,并上并覆盖有一含水层。16.如申请专利范围第12项所述之废气洗涤塔结构,其中所述之该匀水装置系为一网体,其上并覆盖有一含水层。17.如申请专利范围第11项所述之废气洗涤塔结构,其中所述之该第一洒水元件与该第二洒水元件系分别由该帮浦组之独立第一帮浦与第二帮浦供水。18.一种废气洗涤塔结构,该废气系导经过该废气洗涤塔,该废气洗涤塔又包括有:一第一洒水元件,系提供多角度之洒水,以混和该废气洗涤塔中之该废气;一第二洒水元件,系用以进行垂直式洒水,亦用以供水混和该废气洗涤塔中之该废气;一第一帮浦,系用以供水至该第一洒水元件;及一第二帮浦,系用以供水至该第二洒水元件。19.如申请专利范围第18项所述之废气洗涤塔结构,其中所述之该洗涤单元又包括有一匀水装置,以有效将该第二洒水元件所提供之水作全面均匀之分布,以减低洒水之死角。20.如申请专利范围第19项所述之废气洗涤塔结构,其中所述之该匀水装置系为一具多数个漏孔之板体。21.如申请专利范围第19项所述之废气洗涤塔结构,其中所述之该匀水装置系为一网体。22.如申请专利范围第19项所述之废气洗涤塔结构,其中所述之该匀水装置系为一具多数个漏孔之板体,其上并覆盖有一含水层。23.如申请专利范围第19项所述之废气洗涤塔结构,其中所述之该匀水装置系为一网体,其上并覆盖有一含水层。24.如申请专利范围第18项所述之废气洗涤塔结构,其中所述之该第一洒水元件与该第二洒水元件于接近该第一帮浦与该第二帮浦间、又设有连通二管路之交流管,该交流管上又设有一交流管阀、以控制该交流管之通路。25.如申请专利范围第24项所述之废气洗涤塔结构,其中所述之该第一洒水元件与该第一帮浦间、低于该交流管处,又设有一第二管阀。26.如申请专利范围第24项所述之废气洗涤塔结构,其中所述之该第二洒水元件与该第二帮浦间、低于该交流管处,又设有一第四管阀。图式简单说明:第一图系为习知废气洗涤塔之结构示意图。第二图系为本创作废气洗涤塔之结构示意图。