发明名称 用于在软焊半导体晶片时将焊料液态部分成形的设备
摘要 一种设备,在软焊半导体晶片至一基底(6)之制备中,用于使球形圆顶之液态焊料之成份(8)成为平伏焊料之贴块(8"),尽可能均匀分布并正确定位于基底上。在可以昇降的立轴(10)上,一有冲模表面(22)之冲模(20)被垂直导行,用弹簧按装,可环对运动轴(16)扭转,并以摩擦啮合。冲模(20)设有距离保持机构-例如一种周围边缘(24)之形状-延伸出冲模平面(22)之外,并朝向基底(6)予以接触。在各循环操作中,冲模(20)自动对正基底(6)。因为冲模(20)相对于立轴(10)自行调整,在基底上不须维持严格界定之高度位置。
申请公布号 TW394717 申请公布日期 2000.06.21
申请号 TW086118751 申请日期 1997.12.12
申请人 艾斯克公司 发明人 克里斯托夫B.鲁青格;格艾度塞特;麦可罗顿巴齐
分类号 B23K3/08;H01L21/306 主分类号 B23K3/08
代理机构 代理人 郑自添 台北巿敦化南路二段七十七号八楼
主权项 1.一种用于在软焊半导体晶片时将焊料液态部分(8 )成形的设备,系成形至一基底(6),该设备包含一立 轴(10,11),可以相对于基底而上昇或降落,一冲模(20) 连接于该立轴而备有一下方表面(22)指向基底,其 特征在于该冲模(20)是用弹簧按装并垂直沿该立轴 (10,11)导行,相对于该立轴之运动轴(16)可在所有方 向扭转,以及以摩擦力啮合,且其中在该冲模设置 距离保持机构(24,25),突出于冲模之下方表面(22)而 朝向触落于该基底(6)。2.如申请专利范围第1项之 设备,其中该冲模(20)为可更换而安装于一支持部 件(30)上,其又沿该立轴抵向预加应力之弹簧(14)而 垂直滑行。3.如申请专利范围第2项之设备,其中该 冲模(20)及该支持部件(30)是用一球形表面(32)互相 啮合。4.如申请专利范围第3项之设备,其中该冲模 (20)设有一球形穴(21)包纳一球形头(34)于该支持部 件(30b)上,用球形头之部件(35)为有弹性以扣合紧固 冲模。5.如申请专利范围第3项之设备,其中该冲模 (20a)为用一平衡环配置(40)之机构附于该支持部件( 30)上。6.如申请专利范围第3项之设备,其中加热机 构件(18)设于支持部件(30)以供经由该球形表面(32) 加热于该冲模。7.如申请专利范围第1项之设备,其 中该距离保持机构以自该冲模表面(22)延伸一边缘 而形成,并形成一空洞之空间(28)供容焊料分份。8. 如申请专利范围第7项之设备,其中该边缘(24')在在 某些位置(26)具有较低之高度,或设置沟槽。9.如申 请专利范围第1项之设备,其中该距离保持机构以 此至少三个凸起物(25)从该冲模表面(22)之边界延 伸而形成。10.如申请专利范围第1项之设备,其中 该冲模表面(22)备有孔穴(29)或若干其他结构以干 预基底上焊料的扩散。图式简单说明: 第一图为根据本发明一设备直立段之一般简化表 示; 第二图表示第一图相关于基底和焊料之设备下部, 从a至e循环操作之各阶段; 第三图至第五图以类似之表达表示冲模之可扭转 轴承,用第五图绕转直立轴90而与第三图及第四图 比较; 第六图表示冲模在根据第五图之位置中之侧视图; 第七图和第八图为设备之另一具体例,在此情形中 冲模扣合(Snap-on)于一球头,在第七图为释放而在第 八图为扣上之位置; 第九图,第十图和第十一图为冲模所附距离保持机 构之不同实例在由下向上之视图。
地址 瑞士