压电谐振器及其制造方法

摘要

本发明提供了一种压电谐振器,它构成得以方形振动模式振动,并使由制造过程中引起的谐振频率的变化最小化。谐振器包括具有一对主表面的压电基片,设置在一对主表面上的电极以及设置在压电基片的主表面上的凹槽。凹槽将至少将一个电极分为多个分开的电极。多个分开的电极中的一个电极规定为输入/输出电极。越过输入/输出电极,相对而置的两个凹槽的外部边缘之间的最大距离是压电基片的一侧边缘的长度的大约0.5到大约0.55倍。

主权项

1.一种压电谐振器，其特征在于包含：具有一对主表面的压电基片；设置在一对主表面上的多个电极；设置在压电基片的一对主表面中的一个主表面上的多个凹槽，至少一个凹槽将至少一个电极分开，以确定多个分开的电极，多个分开的电极中的一个电极确定为输入/输出电极；以及越过输入/输出电极的相对而置的两个凹槽的外部边缘之间的最大距离是压电基片的一侧边缘的长度的大约0.5到大约0.55倍。