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发明名称 Senkrechte XY-Bühne
摘要
申请公布号 DE4209557(C2) 申请公布日期 2000.06.21
申请号 DE19924209557 申请日期 1992.03.22
申请人 NIPPON TELEGRAPH AND TELEPHONE CORP., TOKIO/TOKYO 发明人 MUNENORI, KANAI;SUNAO, ISHIHARA;ATSUNOBU, UNE
分类号 G12B5/00;H01L21/68;(IPC1-7):G12B5/00;G03F9/00 主分类号 G12B5/00
代理机构 代理人
主权项
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