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发明名称 Herstellungsverfahren von Submikronkontakten
摘要
申请公布号 DE69327600(T2) 申请公布日期 2000.06.21
申请号 DE1993627600T 申请日期 1993.02.24
申请人 STMICROELECTRONICS, INC. 发明人 CHEN, FUSEN E.;MILLER, ROBERT O.;DIXIT, GIRISH ANANT
分类号 H01L21/28;H01L21/285;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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