发明名称 MIKROWELLENVORRICHTUNG FUER DIE BESCHICHTUNG VON DUENNEN FILMEN
摘要
申请公布号 DE69327725(T2) 申请公布日期 2000.06.21
申请号 DE19936027725T 申请日期 1993.11.10
申请人 ENERGY CONVERSION DEVICES, INC. 发明人 IZU, MASATSUGU;DOTTER, II;OVSHINSKY, STANFORD R.;HASEGAWA, WATARU
分类号 C23C16/42;B65D65/42;C23C16/02;C23C16/40;C23C16/50;C23C16/511;C23C16/54;H01J37/32;H05H1/46;(IPC1-7):C23C16/02;B05D1/04;B05D3/06;B29D22/00;B29D23/00;B65D23/02 主分类号 C23C16/42
代理机构 代理人
主权项
地址