| 摘要 |
Es ist ein Halbleiterdrucksensor (10) offenbart, der ein Sensorelement (3) enthält, mit einem Sensorchip (1), dem von einem Druckmedium Druck zugeführt wird, und mit einem Sockel (2) zur Halterung des Sensorchips (1). Das Sensorelement (3) ist an eine Subplatte (4) an einem Sockel (2) gebunden und die Subplatte (4) ist an eine Hauptplatte (5) gebunden. Die Hauptplatte (5) umfaßt eine Luftdichtigkeit-Halteeinrichtung (18) zum Aufrechterhalten einer luftdichten Abdichtung zwischen der Hauptplatte (5) und einem Sensormontageteil (21), welches dort angeordnet ist, wo Druck eines Druckmediums detektiert werden kann.
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