净化废气的工艺和装置

摘要

公开一种净化含氨废气的工艺,该工艺包括如下步骤:使废气与加热的氨分解催化剂(如镍、钌)接触,以使大部分氨分解成氮气和氢气;随后使如此得到的混合气体与氨吸附剂(例如合成氟石)接触,以吸收未分解的氨;然后加热再生该吸附剂,同时使含有吸附剂解吸氨的再生废气与该加热的氨分解催化剂或另一个氨分解催化剂接触;还公开一种实现上述工艺的装置。采用上述工艺和装置可以有效地和完全地净化半导体制造等工艺中排出的净化废气,而不产生无用的副产品,并可以省去次级处理。

主权项

1.一种净化含氨废气的工艺，该工艺包括以下步骤：使含氨废气与至少一列装置(one train)的加热的氨分解催化剂接触，从而使氨分解成氮气和氢气；然后使由此得到的混合气体与至少一列装置的氨吸附剂接触，该吸附剂配置成可以吸附废气中剩余的未分解氨，以使废气净化；随后加热吸附剂，使其再生，同时使含有吸附剂解吸氨的再生废气或者与上述加热的氨分解催化剂，或者另一个氨分解催化剂接触，由此净化含有解吸氨(desorbed ammonia)的废气。