批量生产的半导体薄膜压力传感器及其制造方法

摘要

一种压力传感器,它包括在例如空气流的压力的外力作用下可移动的可弯曲膜。可弯曲膜在具有开口的半导体框上延伸,使可弯曲膜的一部分在半导体框上延伸,可弯曲膜的另一部分在开口上延伸。在膜中存在固有拉伸应力。在半导体框的开口上延伸的膜的部分上形成一个或多个应变仪电阻。膜响应外力变形。当膜变形时,应变仪电阻拉长,它们的电阻增加。测量电阻的变化用以确定外压力大小。在一实施例中,用惠斯通电桥电路将应变仪电阻的电阻变化转换成电压差。

主权项

1.一种压力传感器，它包括：一半导体框，具有开口：一可弯曲膜，在半导体框上和半导体框开口上延伸；一第一应变仪电阻，形成于在半导体框开口上延伸的膜的部分上。