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发明名称 Herstellungsverfahren für eine Vorrichtung mit einer SiOx Schicht
摘要
申请公布号 DE69516933(D1) 申请公布日期 2000.06.21
申请号 DE19956016933 申请日期 1995.03.29
申请人 AT&T IPM CORP., CORAL GABLES 发明人 CHAND, NARESH;OSENBACH, JOHN WILLIAM;COMIZZOLI, ROBERT BENEDICT;ROXLO, CHARLES BLAKELY;TSANG,WON-TIEN;KOLA,RATNAJI RAO
分类号 H01L21/3105;H01L21/316;H01L33/44;H01S5/00;H01S5/022;H01S5/028;(IPC1-7):H01S5/02;H01S3/00;C30B23/02 主分类号 H01L21/3105
代理机构 代理人
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