发明名称 |
Composition and method for removing probing ink and negative photoresist from silicon wafers |
摘要 |
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申请公布号 |
AU1923000(A) |
申请公布日期 |
2000.06.19 |
申请号 |
AU20000019230 |
申请日期 |
1999.11.23 |
申请人 |
SILICON VALLEY CHEMLABS, INC. |
发明人 |
JAVAD J. SAHBARI |
分类号 |
G03F7/42;H01L21/027;H01L21/308 |
主分类号 |
G03F7/42 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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