发明名称 Composition and method for removing probing ink and negative photoresist from silicon wafers
摘要
申请公布号 AU1923000(A) 申请公布日期 2000.06.19
申请号 AU20000019230 申请日期 1999.11.23
申请人 SILICON VALLEY CHEMLABS, INC. 发明人 JAVAD J. SAHBARI
分类号 G03F7/42;H01L21/027;H01L21/308 主分类号 G03F7/42
代理机构 代理人
主权项
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