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发明名称 Single body injector and method for delivering gases to a surface
摘要
申请公布号 HK1011010(A1) 申请公布日期 2000.06.16
申请号 HK19980111870 申请日期 1998.11.09
申请人 SILICON VALLEY GROUP, THERMAL SYSTEMS LLC. 发明人 JAY B. DEDONTNEY;NICHOLAS M. GRALENSKI;ADAM Q. MILLER
分类号 C23C16/44;C03C17/00;C23C16/455;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):C03C;C23C 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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