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发明名称 Glättmaschine
摘要
申请公布号 DE19980562(T1) 申请公布日期 2000.06.15
申请号 DE19991080562T 申请日期 1999.02.05
申请人 SUPER SILICON CRYSTAL RESEARCH INSTITUTE CORP., GUNMA;DISCO CORP., TOKIO/TOKYO 发明人 ABE, KOHZO;KOMA, YUTAKA
分类号 B24B41/02;B23Q1/00;B23Q1/01;B23Q1/66;B24B7/04;B24B7/20;B24B7/22;(IPC1-7):B24B7/04 主分类号 B24B41/02
代理机构 代理人
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